专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种蒸发源系统专利类型：实用新型专利发明人：胡海兵
申请号：CN2016205316.X申请日：20160602公开号：CN207405228U公开日：20180525
摘要：本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源系统，用以解决现有技术中存在的由于坩埚温度不均匀而导致蒸镀到基板上的膜层厚度不均匀的问题。该蒸发源系统基于现有的蒸发源设备，增加激光加热装置，该激光加热装置针对温度低于预设阈值的喷嘴进行加热处理，使得该喷嘴的温度提升至不易凝固的温度，即至少达到预设阈值。这样，即使蒸发源本体对各个坩埚的加热均匀性不好，也可以通过激光加热装置改善这一不均匀性对各个喷嘴的影响，使得各个喷嘴的温度接近一致，避免由于温度不足而容易使有机材料粘连在喷嘴内径而导致喷嘴堵塞的问题，进而，保证蒸镀到基板上的膜层厚度的均匀性。
申请人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,京东方科技集团股份有限公司
地址：017000 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地
国籍：CN
代理机构：北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人：黄志华
更多信息请下载全文后查看