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专利名称：一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的
产品
专利类型：发明专利
发明人：吕继磊,江南,马付根,朱金凤,白华,戴丹申请号：CN201510050629.1申请日：20150130公开号：CN105986241A公开日：20161005
摘要：本发明涉及一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品，所述工件表面镀金刚石膜装置包括：镀膜模块、气控模块、温控模块。本发明还公开了一种用所述的工件表面镀金刚石膜装置反应腔温度的方法和一种使用所述工件表面镀金刚石膜装置沉积金刚石膜的方法以及使用所述方法制得的表面镀金刚石膜的工件。使用所述装置制得的表面镀金刚石膜的工件表面的金刚石膜厚度均匀，且金刚石膜与工件表面的结合性能优异。
申请人：宁波晨鑫维克工业科技有限公司,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
地址：315201 浙江省宁波市高新区院士路66号创业大厦236室
国籍：CN
代理机构：上海一平知识产权代理有限公司
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