硅微加速度计结构
一、建立模型
1、创建长方体，其中长宽高分别为：200、300、80。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201120:24:55YZX
2、移动坐标轴。
3、创建小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:13:03YZX 4、移动坐标轴。
5、创建小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 21 201122:24:29YZX
6、移动坐标轴。
7、创建小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:21:48YZX 8、创建小长方体，其长宽高分别为：400、40、30。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:26:06YZX 9、创建长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:35:23YZX 10、移动坐标轴。
11、创建长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:39:53YZX
12、移动坐标轴。
13、创建长方体，其长宽高分别为：1100、100、100。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:41:38YZX 14、移动坐标轴。
15、创建长方体，其长宽高分别为：1300、100、100。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:44:35YZX
16、用布尔运算中的加运算将各个体生成一个体。
1VOLUMESTYPE NUMAPR 20 201121:48:07YZX 17、设定单元类型。
18、设参数：弹性模量和泊松比，设定EX=1.69e11，PRXY=0.3。
19、设定密度，DEN=2.3e3。
20、用Meshtool工具划分网格，采用自由网格划分。
1ELEMENTSAPR 20 201121:56:33YZX 二、模态分析
1、进行模态分析设置。
2、在外框处加载DOF三方约束，使其固定。
3、加载均布力，设定常数，设定为2N。
4、求解。
5、进行模态扩展设置并求解。
6、查看结果（六阶模态）。 a．分析结果列表显示：
b．云图形式显示六阶模态：
三、静态分析
1、进行静态分析设置。
2、质量块在0-2秒内受自重的影响（受一个重力加速度）。 a．设置参数：
b．求解：
c. 查看结果（应力云图）：
1NODAL SOLUTIONSTEP=1SUB =1TIME=1UX (AVG)RSYS=0DMX =.518E-05SMN =-.261E-06SMX =.255E-06APR 21 201117:49:06MNYZXMX -.204E-06-.3E-07.253E-07.140E-06.255E-06-.261E-06-.147E-06-.320E-07.827E-07.197E-06