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专利名称：谐振扫描镜专利类型：发明专利发明人：桑第亚哥·E·德波尔图申请号：CN200710112055.1申请日：20070622公开号：CN101154053A公开日：20080402
摘要：一种系统和方法准许更有效的同步扫描镜。光刻设备包括照射系统、构图装置、衬底台、以及投影系统。照射系统对从操作于第一频率的辐射源接收到的辐射束进行调节。构图装置对所述束进行构图。衬底台支撑衬底并且按照扫描速率对衬底进行扫描。投影系统包括扫描装置，所述扫描装置包括反射装置和多个弯曲部分。多个弯曲部分配置用于允许反射装置绕旋转轴谐振。扫描装置配置用于将已构图的束扫描到衬底的目标区域上。扫描装置的谐振频率实质上等于第一频率，并且与扫描速率同步。
申请人：ASML控股股份有限公司
地址：荷兰维德霍温
国籍：NL
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：王波波
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