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专利名称：一种基于石墨烯‑金属复合微结构的THz调制器及
其制备
专利类型：发明专利发明人：何晓勇,刘锋,林方婷申请号：CN201610654214.X申请日：20160811公开号：CN1049381A公开日：20170222
摘要：本发明涉及一种基于石墨烯‑金属复合微结构的THz调制器及其制备，所述的THz调制器包括：聚合物柔性衬底层；掺杂半导体外延层；AlO绝缘‑有源区结构复合层：生长在掺杂半导体外延层上，由至少一个AlO绝缘‑有源区子结构叠加组成，所述的AlO绝缘‑有源区子结构包括位于下方的AlO绝缘层，以及生长在AlO绝缘层上的石墨烯微结构层和金属微结构层，所述的金属微结构层置于石墨烯微结构层内部，并与石墨烯微结构层间隔设置形成THz的有源区子结构；金属层：蒸镀于最上方的一个有源区子结构上，并处理形成金属上电极。与现有技术相比，本发明可以实现对太赫兹波的有效调节，调制器的品质因子高、可调性能好和调制深度大等。
申请人：上海师范大学
地址：200234 上海市徐汇区桂林路100号
国籍：CN
代理机构：上海科盛知识产权代理有限公司
代理人：林君如
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