传感器原理及应用(一)
工程物理系工物22 方侨光 022041
【试验一】热电传感器——热电偶
一、试验目标
观察了解热电偶结构,熟悉热电偶工作特征,学会查阅热电偶分度表。
二、试验原理
热电偶是热电式传感器种一个,它可将温度改变转化成电势改变,其工作原理是建 立在热电效应基础上。立即两种不一样材料导体组成一个闭合回路,假如两个结电温 度不一样,则回路中将产生一定电流(电势),其大小和材料性质和结点温度相关。 所以只要保持冷端温度T0不变,当加热结点时,热电偶输出电势E会随温度T改变,经 过测量此电势即可知道两端温差,从而实现温度测量。
电势E和温度T之间关系是利用分度表形式来表示,在制分度表时,通常采取热电偶冷端温度T0=0℃条件下测得,所以在使用热电偶时,只有满足T0=0℃条件,才能直接
使用分度表。在实际工况环境中,因为冷端温度不是0℃而是某一温度Tn,所以在使用
分度表前要对所测电动势进行修正。
E(T,T0) = E(T, Tn) + E(Tn,T0)
即:实际电动势=仪表指示值 + 温度修正值
式中E为热电偶电动势,T为热电偶热端温度,T0为热电偶参考端温度为0℃,Tn为热电偶参考端所处温度。
三、试验结果
Tn=21.0℃查表得到修正值:E(Tn,T0)=0.832mV加热前,电压表读数:0.008V
加热后,电压表读数:-0.171V
于是得到:E(T, Tn)=179/200mV=0.5mV
从而得到实际电动势:E(T, T0)=1.727mV
查表可得:T=42.7℃
【试验二】热敏电阻测温度
一、试验目标
观察了解热敏电阻结构,熟悉热敏电阻工作特征,学会使用热敏电阻测温。
二、试验原理
本试验中所用热敏电阻为负温度系数。电阻值相对改变量, 可用下式表示为:
其定义为热敏电阻在其本身温度改变1℃时,
?? | 1 | dR T | ?? | B | |
| R T | dT | | T | 2 |
式中B 为热敏电阻常数。本试验所用热敏电阻B=3200。
负温度系数热敏电阻其特征能够表示为:
| | |
| ? | 1 | ) | |||
R T | ? | R e T 0 | T | | T | 0 | | ||
式中RT、 RT0 分别为温度T 和T0 时电阻值。
所以当温度改变时热敏电阻阻值改变将造成运放组成压/阻变换电路输出电压改变,
其关系可表示为:
U | 0 | ? | U | T |
R T 0 | | R T | ||
式中UT、 UT0 分别为温度T 和T0 时压/阻变换电路输出电压值。
则依据上面两式:
1 | ? | 1 | ln | U | T | ? | 1 |
T | | B | | U | T 0 | | T 0 |
三、试验结果
T 0 | ? | 21.0?C | U | T 0 | ? | 4.09 V | U | T | ? | 1.99 V | ? | 0.00318 | ||||||||||||
1 | ? | 1 | ln | U | T | ? | 1 | ? | 1 | ln | 1.99 | ? | 1 | |||||||||||
T | B | U | T 0 | T 0 | 3200 | 4.09 | 294.0 | | | |||||||||||||||
T | ? | 314.8 | K | ? | 41.8?C | |||||||||||||||||||
??? | B | ?? | 3200 | ??0.0323 | ||||||||||||||||||||
T | 2 | 314.8 | 2 | | | |||||||||||||||||||
【试验三】PN结温度传感器
一、试验目标
熟悉PN结温度传感器工作特征,学会使用PN结温度传感器测温。
二、试验原理
依据半导体器件原理流经晶体二极管正向电流ID和这个PN结正向压降VD有以下关系:
| | | | qV D | | |
I | D | ? | I e s | KT | ? | 1) |
式中,Is为反向饱和电流,VD为PN结正向压降,q为电子电荷量,K为玻耳兹曼常数,T为绝对温度。则:
V | ? | kT | ln | I | D |
D | | q | | I | S |
所以,当保持ID不变时,PN结正向压降和温度T成正比。
本试验所使用是AD590电流型PN结集成温度传感器,其输出电流正比于绝对温度。0℃温度时输出电流为273.2μA,温度每改变1℃,输出电流改变1μA。AD590输出电流经过1KΩ电阻变为电压信号,其单位为1mV/℃,所以0℃时1K电阻上已经有273.2mV电压输出。
三、试验结果
T0=294K T=320K=47℃
【试验四】箔式应变片性能及三种桥路测试比较
一、试验目标
1.观察了解箔式应变片结构及粘贴方法。
2.测试应变梁变形应变输出。
3.比较各桥路间输出关系。
4.了解温度改变对应变测试系统影响,学会在测试电路中进行温度赔偿。
二、试验原理
1.箔式应变片工作原理
箔式应变片工作原理是建立在电阻应变效应基础上,所谓电阻应变效应是指电阻 值随变形(伸长或缩短)而发生改变一个物理现象。图所表示,设有一根长为l、截
面积为S、电阻率为ρ金属丝, 其电阻为: | R | ? | ? | l | ||||||||||||||||||||||||||||||
s | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
当在轴向受到拉力作用时, 长度增加了 | ?l | , 截面积降低了 | ?S | , 那么电阻将增加 | ?R | , | ||||||||||||||||||||||||||||
则电阻相对改变可按下式求得: | ?R | ? | ?l | ? | ?S | ? | ?? | 。对于箔式应变片 | ?? | ? | 0 | , 电阻 | ||||||||||||||||||||||
R | l | S | ? | ? | | | ||||||||||||||||||||||||||||
改变关键由应变产生。则: | ?R | ? | ?l | ? | ?S | ? | ?( 1 | ? | 2?) | ? | K? | |||||||||||||||||||||||
R | | l | S | |||||||||||||||||||||||||||||||
式中: | ?l | 是材料轴向线应变, 用应变ε表示为: | ? | ? | ?l | 。 | ?S | 是材料截面积改变, | ||||||||||||||||||||||||||
l | l | S | ||||||||||||||||||||||||||||||||
用材料泊松比 | ?=- | ?D | ?l | 及 | ?表示为: | ?S | ? | 2?? | ||||||||||||||||||||||||||
D | l | S | ||||||||||||||||||||||||||||||||
由此能够看出,金属材料电阻相对改变和其线应变ε正比,百分比系数称为灵敏度,这就是金属材料应变电阻效应。
2.电阻应变片测量电路
从箔式应变片工作原理可知, 应变片测量应变是经过 | R1 | R2 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
测量应变电阻相对改变来得到。 | 我们通常使用电桥电路作 | △ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
为应变片测量电路, 它能够把电阻相对改变 | ?R | R | 转化成电 | R | R4 | U | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
压相对改变 | ?U | U | 。图所表示, 设电桥输入电压为U,输出 | 3 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
电压为△U , 则: | U | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
?U | ? | U | ???? | R 1 | R 1 | R 2 | ? | R 3 | R 3 | R 4 | ???? | ? | U | ? | R 1 | R 4 | ? | R 2 | R 3 | ? | 电桥电路简图 | |||||||||||||||||||||||||||
| ? | ? | R 1 | ? | R 2 | R 3 | ? | R 4 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
设各桥臂初始电阻为 | R 1 | ? | R | 2 | ? | R | 3 | ? | R | 4 | ? | R | , 所以电桥初始处于平衡状态, 当四个 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
桥臂电阻分别变为 | R 1 | ? | ?R 1 | 、 | R | 2 | ? | ?R | 2 | 、 | R | 3 | ? | ?R | 3 | 、 | R | 4 | ? | ?R | 4 | 时, 则上式可得: | ||||||||||||||||||||||||||
| ?U | ? | U | ? | R | ??R 1 ?2 R? | ?? | R | ? | ?R | 4 | ??R 2??2 R | ? | ?R 2??R??R 3? ?R 3??R 4? ???R 1?R 4??R R??R 3??R 4? |
| | |||||||||||||||||||
| |
| ?R 1 | ? | ?R | ? | 2 | ?R 3 | |||||||||||||||||||||||||||
? | U | R | ??R 1 | ? | |||||||||||||||||||||||||||||||
?R | 2 | ? | ?R 3 | ? | ?R 4 2??2 | ||||||||||||||||||||||||||||||
通常情况下, | ?Ri | ?i | |
| R | ? | ?R 1 | ? | ?R |
| | ||||||||||||||||||||||||
? | 1 , | 2 , 3 , | 4 | ? | 很小, 既R〉〉 | ?R | i, 则上式可改变为: | ||||||||||||||||||||||||||||
?U | ? | U | ?? ? | ?R 1 | ? | ?R | 2 | ? | ?R 3 | ? | ?R | 4 | ? ? | ||||||||||||||||||||||
| | | | 4 | R | R | R | | R | | |||||||||||||||||||||||||
这么电阻改变率(或应变)和输出电压之间就近似为线性关系,这就是利用桥式
电路测量电阻应变工作原理。
3.箔式应变片温度效应及应变电路温度赔偿 | F | R1 | R2 | F |
温度改变引发应变片阻值发生改变原因是应变片电 | ||||
阻丝温度系数及电阻丝和测试梁膨胀系数不一样, 由此 | 温度赔偿方法 | |||
引发测试系统输出电压改变。
因为温度改变引入了测量误差,所以实用测试电路中必需进行温度赔偿。用赔偿片法是应变电桥温度赔偿方法中一个,立即赔偿片和工作片成90°贴在测试梁上,图(2)所表示, R1为工作片,R2为赔偿片,R1=R2。桥路如原来是平衡,当温度改变引发两应变片电阻改变△R1和△R2符号相同,数量相等,依据(2-1)式△U≈0,无电压输出,电桥仍满足平衡条件,达成了温度赔偿目标。测试梁受力时,R2不产生形变,仅有R1作为工作片。
三、试验步骤和结果
测试电路:
+4V | R3 | R1 | _ | V |
WD | R4 | R2 | ||
+ |
-4V
1.单桥
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -8 | -13 | -22 | -29 | -36 | -44 | -52 | -60 | -67 | -72 |
下行电压mV | 6 | 15 | 22 | 29 | 37 | 44 | 50 | 58 | 63 | 72 |
采取直线拟合方法,求出其斜率即为灵敏度S。
S-=14.8mV/mm S+=14.3mV/mm
S=14.6mV/mm
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -8 | -13 | -22 | -28 | -35 | -44 | -52 | -60 | -67 | -76 |
下行电压mV | 6 | 15 | 22 | 32 | 38 | 46 | 54 | 62 | 72 | 81 |
S-=15.3mV/mm S+=16.3mV/mm
S=15.8mV/mm
结论:单箔片不管方向怎样,不管接在哪个位置,其效果是近似。
2.双桥
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -15 | -32 | -46 | -63 | -78 | -94 | -109 | -124 | -140 | -156 |
下行电压mV | 16 | 28 | 44 | 58 | 75 | 8 | 106 | 124 | 138 | 153 |
S-=31.1mV/mm S+=31.0mV/mm
S=31.0mV/mm(图见下页)
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -6 | -6 | -4 | -5 | -6 | -8 | -9 | -8 | -9 | -8 |
下行电压mV | 4 | 3 | 4 | 2 | 6 | 5 | 5 | 6 | 8 | 4 |
基础无改变
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -3 | -1 | -3 | -5 | -4 | -5 | -6 | -6 | -6 | -7 |
下行电压mV | -1 | -1 | -2 | 0 | -1 | -3 | -3 | -1 | -3 | -1 |
基础无改变
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -13 | -23 | -35 | -48 | -62 | -74 | -90 | -102 | -114 | -130 |
下行电压mV | 14 | 25 | 36 | 48 | 59 | 75 | 86 | 102 | 118 | 130 |
S-=26.2mV/mm S+=26.1mV/mm
S=26.2mV/mm
结论:依据ΔU公式,我们不仿说R1和R4是正位,R2和R3是负位。假如同向箔片接在相同位上(全部是正位,或全部是反位),其效果是增强,也即更灵敏;接在不一样位上(一正一反),则相互减弱,根本无法使用。假如反向箔片接在相同位上,则相互减弱;接不一样位则相互增强。增强效果约为单箔片2倍。
3.全桥
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -29 | -58 | -90 | -114 | -144 | -174 | -209 | -239 | -270 | -302 |
下行电压mV | 28 | 55 | 88 | 116 | 143 | 174 | 206 | 235 | 268 | 296 |
S-=60.6mV/mm S+=59.9mV/mm
S=60.2mV/mm
桥路状态 | | |||||||||
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压mV | -3 | -6 | -5 | -6 | -6 | -5 | -9 | -9 | -10 | -12 |
下行电压mV | -3 | 0 | 3 | 12 | 8 | 14 | 16 | 16 | 15 | 18 |
基础无改变
结论:假如使得同向箔片全部接在相同位上,而反向箔片全部接在不一样位上,则效果
相互增强,最为灵敏,大约为单桥4倍,半桥2倍。反之,则相互减弱,无法使用。实
际上,也只有这两种真正不一样接法。综合三种桥路结果,当桥路不因相互减弱而不
可用时候,全桥最为灵敏,半桥次之,单桥最不灵敏。(图见下页)
4.温度漂移(温度用PN结温度传感器测得)
没接赔偿片情况是:
T0=294K T=320K ΔV=-167mV 于是得到ΔV/ΔT=-6.42mV/K
加了赔偿片情况是:
T0=297K T=320K ΔV=-31mV 于是得到ΔV/ΔT=-1.3mV/K
【试验五】半导体应变计
一、试验目标
了解半导体应变计灵敏度和温度效应
二、试验原理
半导体应变计关键是依据硅半导体材料压阻效应制成,当半导体晶体受到作用力 时,晶体除产生应变外,电阻率也会发生改变,这就是半导体压阻效应。因为半导体△ ρ/ρ远大于形变,和金属应变片相比,半导体应变计灵敏系数很高,不过在稳定性及
反复性方面全部不如金属箔式片。
三、试验结果
1.单桥
试验电路:
+2V | WD | R1 | ? | V |
R2 | + |
-2V
半导体应变计测试线路
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压V | -0.22 | -0.49 | -0.76 | -1.03 | -1.30 | -1.60 | -1. | -2.19 | -2.49 | -2.76 |
下行电压V | 0.28 | 0.52 | 0.75 | 1.02 | 1.28 | 1.58 | 1.79 | 2.02 | 2.27 | 2.50 |
S-=0.568V/mm S+=0.499V/mm
S=0.534V/mm
温度漂移:
T0=295K T=321K ΔV=14.01V 于是得到:ΔV/ΔT=0.539V/K2.双桥
试验电路:
WD | R3 | R1 | ? | V |
R4 | R2 | + |
-2V
位移mm | 0.5 | 1.0 | 1.5 | 2.0 | 2.5 | 3.0 | 3.5 | 4.0 | 4.5 | 5.0 |
上行电压V | -0.56 | -1.13 | -1.75 | -2.34 | -2.94 | -3.57 | -4.15 | -4.76 | -5.37 | -5.99 |
下行电压V | 0.47 | 1.05 | 1.55 | 2.19 | 2.90 | 3.46 | 4.11 | 4.66 | 5.23 | 5.95 |
S-=1.208V/mm S+=1.218V/mm
S=1.213V/mm
温度漂移:
T0=296K T=320K ΔV=-2.46V 于是得到:ΔV/ΔT=0.102V/K